?通過電流按比例無級控制流量。
?重復(fù)精度：3％以下。
?遲滯：10％以下。
| 系列 | 流量控制范圍 L/min | 流體 |
|---|---|---|
| PVQ | 0～5 0～6 0～75 0～100 | 空氣、惰性氣體 |
?通過電流按比例無級控制流量。?重復(fù)精度：3％以下。?遲滯：10％以下。系列流量控制范圍 L/min流體PVQ0～50～60～750～100空氣、惰性氣體
?通過電流按比例無級控制流量。
?重復(fù)精度：3％以下。
?遲滯：10％以下。
| 系列 | 流量控制范圍 L/min | 流體 |
|---|---|---|
| PVQ | 0～5 0～6 0～75 0～100 | 空氣、惰性氣體 |
