?閥與針閥一體化，配管空間為原來(lái)的1/4。?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產(chǎn)生。?初始供氣、主給気可同時(shí)進(jìn)行流量調(diào)節(jié)。系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸XVD常閉（加壓開(kāi)?彈簧密封）氮?dú)?、空氣、惰性氣體等VCR?Swagelok?1/4B