?可真空使用 (VZ100 、VZ300R、VZ500R)
?無(wú)需進(jìn)行先導(dǎo)閥的排氣對(duì)策 (集中排氣型：VZ300M 、500M)
?可作為選擇閥或分離閥使用(外部先導(dǎo)型：VZ300R、500R)
?集裝型號(hào)：VV3Z1，VV4Z1，VV3Z3，VV3Z5
| 系列 | 流量特性 2→3(A→P) C［dm3/（ s?bar）］ | 流量特性 2→3(A→P) b | 流量特性 2→3(A→P) Cv | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|
| VZ100 | 0.19 | 0.071 | 0.042 | 1.8 | -100kPa |
| VZ300 | 1.2 | 0.48 | 0.34 | 1.8 | -100kPa |
| VZ500 | 2.7 | 0.34 | 0.69 | 1.8 | -100kPa |
